晶圆检测设备校准专用PSL标准球

一、晶圆检测设备校准应用
1. 扫描表面检测系统（SSIS) 校准和维护

• 扫描电子显微镜（SEM）与原子力显微镜（AFM）校准：
• 验证 SEM 对纳米级特征（如线条宽度、通孔直径）的测量精度。
• 校准 AFM 三维形貌扫描的垂直分辨率（如 CMP 工艺后的表面粗糙度）。

2.光学颗粒计数器校准
模拟 0.05μm~100μm 污染物，校准激光散射设备的粒径识别阈值与计数效率。

二、污染物检测方法优化

灵敏度评估：
沉积已知浓度 PSL（如 1000 个 /cm²），通过暗场检测或 SEM 分析，验证设备对 0.2μm 颗粒的检出率。

清洗工艺验证：
对比清洗前后 PSL 残留率，量化评估兆声波、毛刷清洗等工艺的有效性。

缺陷定位与标记：
选择性吸附于划痕、凹坑等缺陷处，通过荧光显微镜快速定位，支持工艺优化。

三．掩模板检测应用

1. 缺陷模拟与检测开发
EUV 掩模板检测：
100nm PSL 模拟多层膜相位缺陷，优化暗场检测系统的分辨率与数值孔径（NA）。

算法验证：
构建 PSL 缺陷库（不同形状、位置）训练机器学习模型，提升缺陷分类准确率。

2. 清洁效果评估
等离子体 / 毛刷清洁验证：
通过 AFM/SEM 观察残留 PSL 分布，评估清洁工艺对亚 100nm 颗粒的去除效率（行业标准≤1 个 /cm²）。